فیبرک فلور پر، فوٹو ریزسٹ کو بیک کرتے وقت 1°C کا فرق صرف مانیٹر پر ایک چھوٹی سی تبدیلی نہیں ہے؛ بلکہ اس کے نتیجے میں وائر کی چوڑائی میں تغیر، ایچنگ کے دوران غلطیاں، اور بیکار وافرز پیدا ہوتے ہیں۔ ہم نے اپنے سیمی کنڈکٹر انفراریڈ ہیٹنگ لیمپوں کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ وہ اس قسم کی تغیرات کو ختم کر سکیں۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں؛ جن کے ذریعہ حرارت براہ راست وافر اور سبسٹریٹ میں منتقل ہوتی ہے۔ اس طرح، چند سیکنڈوں میں ہی وائر کی سطح پر یکسانیت حاصل ہو جاتی ہے، اور درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے۔ اس قسم کی درستگی کی وجہ سے لیتھوگرافی کے دوران کریٹیکل ڈائمینشن پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے، اور ایچنگ کے بعد بھی پروفائل میں استحکام رہتا ہے۔
یہ سسٹم کلین روم میں استعمال کے لئے موزوں ہے، کلاس 1–100 کے ماحول میں کام کرنے کے لئے بھی مناسب ہے، اور مستقل کارکردگی کے دوران ذرات کی تعداد کو صفر پر رکھنے کے لئے بھی ڈیزائن کیا گیا ہے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی اس کی کارکردگی مستحکم رہتی ہے، اور انٹینسٹی میں 5% سے بھی کم تغیر ہوتا ہے؛ اس لئے اسے 24/7 استعمال کیا جا سکتا ہے، اور کم سے کم دیکھ بھال کی ضرورت ہوتی ہے۔
یہ کیوں کام کرتا ہے؟
فوٹو ریزسٹ کی پروسیسنگ میں، “سوفٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” کے مراحل سے سولوینٹ کو ختم کیا جاتا ہے، اور پولیمرز کو آپس میں جوڑا جاتا ہے۔ ہمارے لیمپوں کی وجہ سے وافر کی سطح پر درجہ حرارت یکساں رہتا ہے؛ اس لئے چپکنے کی کارکردگی بہتر ہوتی ہے، خرابیاں کم ہوتی ہیں، اور ایکسپوزر اور ایچنگ کے بعد بھی کریٹیکل ڈائمینشن میں استحکام رہتا ہے۔
تیز ترین حرارتی چکر کی وجہ سے چیمبر کا وقت کم ہو جاتا ہے، جس سے ٹول کی کارکردگی بہتر ہوتی ہے، اور توانائی کی کھپت بھی کم رہتی ہے۔ پروڈکشن میں اس کے نتیجے میں دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہوتی ہے، پیداوار میں استحکام رہتا ہے، اور ہر وافر کی پیداواری لاگت بھی کم ہوتی ہے۔
عملی تفصیلات:
یہ لیمپ چھوٹے اور ماڈیولر ہیں، لیکن وافر کی سطح کے ساتھ ان کی درست سیدھ میں رکھنا بہت ضروری ہے۔ ایمیٹر اور سبسٹریٹ کے درمیان فاصلے کو درست رکھنا ضروری ہے، اور ٹول کی جانب سے انٹرلاکنگ اور درجہ حرارت کے فیڈبیک لوپ بھی ضروری ہیں۔
زیادہ تر ٹریکس اور بیک پلیٹس پر ان کو انضمام کرنا آسان ہے، لیکن چک کے ڈیزائن کی وجہ سے حرارتی ماس میں تبدیلی ہو سکتی ہے۔ استعمال سے پہلے ایک مختصر ٹیسٹ کرنا ضروری ہے تاکہ تمام ترتیبات درست رہیں۔