http://ir-heater-cozy.com/uk/tags/%D0%BF%D0%BE%D1%81%D1%82/ Recent content in Пост on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo uk Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/uk/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/uk/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Піч для постекспозиційного відпалу (PEB)"></p> <p>На поверхні літоґрафії контроль ширини лінії виграється або програється на етапі постекспозиційного відпалу. Зсув температури всього на кілька градусів або нерівномірність по пластині призводять до відхилень CD і браку. Ми спроектували наші нагрівачі для PEB, щоб виключити цю змінність із рівняння.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong></p> <p>Йдеться про рівномірність температури на рівні пластини ±0,1°C по всій поверхні відпалу та точність температури фоторезисту, що відповідає суворому тепловому бюджету, необхідному для вашого процесу. Конструкція використовує короткохвильові інфрачервоні елементи для швидкої та чистої передачі енергії, що забезпечує швидкий нагрів без перевищення заданих параметрів.</p>