Намагання підтримувати прохолоду всередині обладнання для обробки напівпровідників при одночасному збільшенні температури під час процесу є справжнім кошмаром. Більшість стандартних нагрівачів просто розподіляють тепло по всьому приміщенню. Це все одно, що поставити обігрівач у картонну коробку – з часом весь корпус починає функціонувати як один великий радіатор. Ваше дороге обладнання перегрівається, а оператори починають хвилюватися через ризик опіків.
Ми знайшли кращий спосіб – це направлене інфрачервоне нагрівання. Замість того, щоб дозволяти теплу розсіюватися безладно, ми використовуємо лампи з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням. Вони спрямовують енергію саме туди, куди потрібно – прямо на пластину чи субстрат.
Це усуває проблему надмірного нагрівання стінок приміщення. Ви отримуєте необхідну кількість теплової енергії в точці її застосування, а решта обладнання залишається прохолодною. Більше немає проблем з опіками поверхні обладнання.
Але не можна просто використовувати будь-яку проводку. Якщо використовувати стандартний PVC, він тріскається чи плавиться вже через кілька тижнів. Він просто не призначений для таких умов. Тож ми використовуємо проводку, покриту тефлоном (PTFE). Вона витримує високі температури та не пошкоджується під дією хімічних речовин. Навіть під дією інфрачервоного випромінювання вона залишається гнучкою та продовжує виконувати свою функцію.
Проте все одно потрібно ретельно продумати розташування проводки. Навіть тефлон має свої обмеження. Якщо проводка випадково торкнеться кварцової оболонки лампи під час її роботи, все закінчується погано. Тож потрібно ретельно спланувати розташування проводки, щоб ніщо не знаходилось прямо на шляху випромінювання.
Коли захист та відбивачі налаштовані правильно, тепло потрапляє саме туди, куди потрібно. Тоді система кондиціонування в приміщенні може нарешті відпочити, а ви можете перестати боротися з проблемою надмірного нагрівання стінок, що ускладнює роботу з таким обладнанням.