Припиніть перетворювати свої інструменти для сушіння MEMS на „печі“
Якщо ви коли-небудь використовували звичайний конвективний обігрівач для сушіння пластин, ви знаєте, які труднощі це приносить. Ви намагаєтесь осушити пластину, але в результаті нагрівається вся камера. Внутрішні стінки дорогого обладнання поглинають усю енергію, наче губка.
Результат? Зовнішня частина пристрою стає надзвичайно гарячою на дотик, а рахунок за електроенергію стрімко зростає. Це марна трата ресурсів.
Ми знайшли кращий спосіб – це направлене інфрачервоне опалення.
Як це працює
Уявіть собі таке: конвекція – це наче спроба зігріти одну людину, нагріваючи кожен кубічний сантиметр повітря в кімнаті. Це неефективно.
Інфрачервоне опалення працює інакше. Воно використовує електромагнітні хвилі для передачі енергії безпосередньо на поверхню пластини. Нам не потрібно нагрівати повітря чи стінки. Ми просто направляємо тепло саме туди, де потрібно, щоб вода випарувалась.
Стальна конструкція пристрою залишається прохолодною, оскільки енергія направляється саме туди, де їй потрібно бути.
Деталі та перешкоди
Ми зазвичай використовуємо випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла. Чому? Тому що матеріали, які використовуються для сушіння MEMS, краще їх поглинають. Крім того, їх можна поєднувати з контролерами швидкої реакції, щоб уникнути ненавмисного нагрівання пластин.
Але є одна проблема. Лампи інфрачервоного світла мають високу потужність. Якщо їх розташування буде некоректним, навіть на кілька міліметрів, це може призвести до проблем. На пластині з’являться гарячі ділянки, або ж нагріється компонент, який не повинен нагріватися. Потрібно дуже ретельно підбирати відбивачі, щоб кут випромінювання був правильним.
Чому це полегшує роботу
Коли ви позбавляєтесь проблеми з гарячими стінками, все стає інакшим. Оператори більше не хвилюються через можливі опіки під час роботи з пристроєм. Система вентиляції не мусить постійно працювати, щоб підтримувати прохолоду в кімнаті. Усе відбувається швидше, займає менше місця. І, чесно кажучи, це робить весь процес менш складним.