http://ir-heater-cozy.com/tr/tags/odas%C4%B1/ Recent content in Odası on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo tr Mon, 08 Jun 2026 02:38:55 +0800 http://ir-heater-cozy.com/tr/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Mon, 08 Jun 2026 02:38:55 +0800 http://ir-heater-cozy.com/tr/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Vakum odası kızılötesi ısıtıcı"></p> <p>Fabrika katında, fotoresist pişirme sırasında 0.5°C’lik bir sapma, kritik boyut (CD) hedeflerini sapmaya uğratmaya ve verim kaybına yol açmaya yeterlidir. Vakum haznesindeki kızılötesi ısıtıcılar, termal bütçenin kesinlikle müzakere edilemez olduğu yumuşak pişirme (soft bake) ve sert pişirme (hard bake) adımlarında bu değişkenliği ortadan kaldırmak için kullanılır.</p> <p><strong>Kaputun altında önemli olan</strong> Kısa dalga kızılötesi, wafer ve hazne yüzeylerine hızlıca ulaşır, ısıyı doğ<a href="https://goldisgood.com">rudan</a> aktarır ve termal gecikmeyi azaltır. İşlem penceresi genelinde wafer seviyesinde ±0.1°C’lik bir uniformite hedefliyoruz ve setpoint tekrarlanabilirliği her parti için tutarlıdır. Isıtıcı gövdesi, Class 1–100 temiz oda kullanımı için düşük dışgazlı malzemelerle ve partikül üretimini minimuma indirecek yüzey işlemiyle tasarlanmıştır. Vakumda, basınç ve gaz bileşimi değişse bile sıcaklık <a href="https://o-yate.net">stabil</a> kalır; böylece litografi ve aşındırma (etch) katmanlarında tutarlı bir termal geçmiş sağlanır.</p>