MEMS araçlarınızı fırına dönüştürmeyi bırakın. Eğer daha önce waferleri kurutmak için standart konveksiyon ısıtıcıları kullandıysanız, yaşanan zorlukları biliyorsunuzdur. Waferleri kurutmaya çalışırken aslında tüm odanın ısınmasına neden oluyorsunuz. Pahalı ekipmanınızın iç duvarları ise bu enerjiyi bir sünger gibi emiyor. Sonuç olarak makinenin dış yüzeyi dokunulduğunda tehlikeli derecede sıcak hale geliyor ve elektrik faturanız da artıyor. Bu tam anlamıyla israf demektir. Daha iyi bir çözüm bulduk: Yönlendirilmiş kızılötesi ısıtma.
Nasıl çalışır?
Bunu şöyle düşünün: Konveksiyon ısıtma, odadaki her bir santimetreküp havayı ısıtarak tek bir kişiyi ısıtmaya çalışmak gibidir. Bu oldukça verimsizdir. Kızılötesi ısıtma ise farklıdır; elektromanyetik dalgalar kullanarak enerjiyi doğrudan wafer yüzeyine gönderir. Hava veya duvarları ısıtmaya gerek yoktur. Isı, suyun buharlaşması gereken yere doğru yönlendirilir. Böylece ekipmanın çelik yapısı soğuk kalır.
Detaylar ve dikkat edilmesi gerekenler
Genellikle kısa dalga boyundaki kızılötesi ısıtıcıları tercih ederiz. Neden mi? Çünkü MEMS cihazlarındaki malzemeler bunları daha iyi emer. Ayrıca, hızlı tepki veren kontrol cihazlarıyla birlikte kullanılırsa waferler yanmaz. Ancak burada bir sorun var: Kızılötesi lambalar çok güçlüdür. Hizalama birkaç milimetre bile yanlış yapılırsa sorunlar ortaya çıkar. Wafer üzerinde sıcak noktalar oluşabilir veya aslında ısınmaması gereken bileşenler ısınabilir. Işın açısını doğru ayarlamak için reflektörler konusunda çok dikkatli olmak gerekir.
Neden bu yöntem işleri kolaylaştırır?
“Sıcak duvar” sorunundan kurtulduğunuzda her şey farklı hissedilir. Operatörler artık ekipmana yaklaşırken yanma riski konusunda endişelenmezler. HVAC sistemi de odayı soğutmak için fazla çaba sarf etmek zorunda kalmaz. Süreç daha hızlı ilerler ve daha az yer kaplar. Dürüst olmak gerekirse, bu yöntem tüm süreci fizik yasalarına karşı verilen bir mücadele gibi hissettirmekten kurtarır.