บนชั้นลิโธ, โฟโต้เรซิสต์ไม่สนใจเจตนา—มันตอบสนองตามอุณหภูมิ ให้การอบแบบซอฟต์เบคมีการเปลี่ยนแปลงแม้เพียง 1°C บนเวเฟอร์เดียวกัน...

บนพื้นโรงงาน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในระหว่างการอบฟิล์มฟโต้เรซิสต์หรือการทำให้เวเฟอร์แห้งไม่เพียงแต่ส่งผลต่อการผลิตเท่านั้น...