http://ir-heater-cozy.com/ru/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo ru Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ru/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ru/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Нагреватель для отжига после воздействия (PEB)"></p> <p>На литографическом этаже контроль ширины линий выигрывается или теряется на этапе постэкспозиционного отжига. Дрейф температуры всего на пару градусов или неравномерность по поверхности вафли приводят к отклонениям CD и браку. Мы разработали наши нагреватели PEB, чтобы устранить эту переменную из уравнения.</p> <p><strong>Что важно внутри</strong></p> <p>Речь идет о температурной однородности на уровне вафли ±0,1°C по всей поверхности отжига и точности температуры фоторезиста, которая укладывается в жёсткий тепловой бюджет, требуемый вашим процессом. В конструкции используются элементы коротковолнового инфракрасного излучения для быстрого и чистого переноса энергии, что обеспечивает быстрые скорости нагрева без превышения заданной температуры.</p>