Лампа сушилки для пластин DNS (Screen)

Tue, 02 Jun 2026 03:49:24 +0800

На линии вы хорошо знаете, как это бывает: отклонение всего на полградуса в режиме мягкого запекания способно вывести контроль критических размеров за пределы спецификации. Именно для такой задачи была разработана лампа сушилки для пластин DNS (Screen). Она обеспечивает термическое равномерное распределение на уровне пластины с точностью ±0,1°C по всей поверхности чука, благодаря чему профили запекания фоторезиста остаются стабильными — от выстрела к выстрелу, от партии к партии.

Техническая начинка
Лампа использует источник коротковолнового инфракрасного излучения в кварцевом корпусе, настроенный на максимальное поглощение используемых нами слоёв фоторезиста. Время отклика — менее секунды, повторяемость температуры сохраняется в пределах 1°C при работе свыше 5 000 часов с падением мощности менее 5%. Модуль рассчитан на чистые помещения классов 1–100, имеет контролируемый по частицам путь излучения и не генерирует частицы непосредственно в зоне нагрева. Выходная мощность калибруется для обеспечения воспроизводимого теплового баланса, а интерфейс корректно интегрируется со стандартными платформами сушилок Screen.

DNS on Cozy Infrared Heating Solutions

Лампа сушилки для пластин DNS (Screen)