Запчасть для нагревательного элемента Axcelis

Sat, 27 Jun 2026 01:27:33 +0800

На производственном участке круглосуточно необходимо поддерживать стабильные температурные условия. Если один из нагревательных элементов начинает работать некорректно, температуры, необходимые для процессов нагрева пластинок, сразу же выходят за допустимые рамки. Это приводит к нарушению точности литографических процедур, а пластинки приходится выбрасывать. График производства нарушается. Чтобы предотвратить такую ситуацию, мы используем запасные нагревательные элементы Axcelis.

Что имеет значение с технической точки зрения
Этот нагревательный элемент обеспечивает стабильность температуры на уровне пластинки, сохраняя её в пределах ±0,1°C от заданного значения. Благодаря использованию кварцевого материала и инфракрасных элементов, нагрев происходит быстро и точно, без значительных отклонений. Это именно то, что необходимо для поддержания стабильных температурных условий при обработке сложных фоторезистов. Устройство соответствует стандартам чистых комнат класса 1–100; оно не производит никаких частиц, а его поверхность выдерживает агрессивную очистку растворителями. Срок службы составляет более 5 000 часов при нормальной нагрузке, при этом отклонение температуры не превышает 5%.

Акселис on Cozy Infrared Heating Solutions

Запчасть для нагревательного элемента Axcelis