Отказ от использования озона в процессе нагрева полуфабрикатов
Производство полупроводников требует точного контроля температуры. Но долгое время существовала проблема: традиционные методы нагрева приводили к утечке энергии и образованию озона. Чтобы решить эту проблему, на заводах приходилось использовать мощные системы очистки воздуха, что требовало больших затрат энергии.
Мы нашли лучший способ. С помощью инфракрасных ламп, которые не используют длину волны 185 нм, мы предотвращаем расщепление молекул кислорода. Проще говоря, озон не образуется. Таким образом мы устраняем проблему с самого начала, а не пытаемся её устранить позже.
Экономия энергии (и нервов)
Если вы стремитесь достичь целей «зеленого завода», всё сводится к количеству киловатт-часов, потраченных на обработку каждого чипа.
Наша инфракрасная система использует прямое излучение тепла. Энергия не тратится на нагрев всего воздуха в камере — она направляется непосредственно на поверхность чипа. Это совсем не похоже на старые конвекционные печи, которые распространяют тепло повсюду.
К тому же, эти лампы достигают нужной температуры за считаные секунды. Не нужно долго ждать, пока печь нагреется.
Реальность
Это не волшебная палочка. Высокая интенсивность излучения инфракрасных ламп приводит к выделению большого количества тепла. Если вы хотите, чтобы процесс нагрева происходил как можно быстрее, необходимо убедиться, что система охлаждения сможет справиться с этой нагрузкой. В противном случае остальные компоненты оборудования могут перегреться. Мы обычно рекомендуем использовать контроллеры типа PID — они помогают поддерживать оптимальную температуру.
Чистый воздух в чистой комнате
Самое замечательное — это то, что при отсутствии озона не нужно активно вентилировать комнату для удаления токсичных газов. Устройства для обработки воздуха могут наконец отдохнуть. Меньше энергии на работу вентиляторов означает меньшее количество выбросов углерода.
Для инженеров это простой способ улучшения процесса производства. Не нужно устанавливать сложные химические устройства для очистки воздуха. Просто всё работает.