Попытка поддерживать прохладу внутри оборудования для обработки полупроводников при одновременном увеличении температуры в процессе работы представляет собой настоящую проблему. Большинство стандартных нагревателей распространяют тепло повсюду. Это похоже на использование обогревателя в картонной коробке – со временем вся конструкция начинает функционировать как один большой радиатор. Дорогостоящее оборудование перегревается, а операторы вынуждены беспокоиться о возможности получения ожогов.
Мы нашли лучший способ: направленное инфракрасное нагревание. Вместо того чтобы позволять теплу распространяться случайным образом, мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Они направляют энергию именно туда, где она нужна – прямо на кристалл или подложку.
Это помогает избежать нежелательного перегрева стен корпуса оборудования. Необходимая тепловая энергия достигает цели, а остальная часть оборудования остается прохладной. Таким образом, не будет риска поражения кожи операторов.
Но нельзя просто использовать любые провода. Если использовать стандартный ПВХ, он может треснуть или растаять уже через несколько недель. Он просто не предназначен для таких условий. Поэтому мы используем провода, покрытые тефлоном (ПТФЭ). Они выдерживают высокие температуры и не теряют своих свойств даже при воздействии химикатов. Даже под воздействием инфракрасного излучения они остаются гибкими и выполняют свою функцию.
Тем не менее, все равно необходимо тщательно продумать расположение проводов. У тефлона тоже есть свои ограничения. Если провод случайно коснется кварцевой оболочки лампы во время ее работы, все будет кончено. Необходимо тщательно спланировать расположение проводов, чтобы ничего не находилось прямо на пути излучения.
Когда защитные элементы и отражатели расположены правильно, тепло идет именно туда, куда нужно. Тогда система кондиционирования воздуха в помещении может наконец отдохнуть, а вы сможете избавиться от проблем с «горячими стенами», которые затрудняют работу многих типов оборудования.