Peça de reposição para elemento aquecedor Axcelis

Sat, 27 Jun 2026 01:27:33 +0800

No chão, 24/7, a fábrica não consegue lidar com qualquer tipo de problema térmico. Se um dos elementos aquecedores começar a funcionar de maneira irregular, as temperaturas necessárias para o processo de cozimento das placas ficam fora dos padrões estabelecidos. As tolerâncias de litografia são violadas, e as placas acabam sendo descartadas. O cronograma de produção é afetado. Para evitar isso, utilizamos componentes de substituição da Axcelis.

O que é importante, do ponto de vista técnico Esse componente é projetado para garantir uniformidade térmica em nível de chip, mantendo a temperatura da placa dentro de um intervalo de ±0,1°C em relação ao valor definido. A estrutura de quartzo e a capacidade de resposta infravermelha de onda curta permitem um controle preciso da temperatura, com mínimo desvio – exatamente o que é necessário para manter o controle térmico em processos avançados de fotolitografia. É adequado para uso em salas limpas de classe 1–100, não gera partículas e sua superfície resiste a limpezas com solventes agressivos. Espera-se uma vida útil longa: mais de 5.000 horas de operação contínua, com desvio de temperatura inferior a 5%.

Axcelis on Cozy Infrared Heating Solutions

Peça de reposição para elemento aquecedor Axcelis