Reduzindo as emissões de carbono nas fábricas de semicondutores: A magia das lâmpadas infravermelhas revestidas com ouro
Se você quer reduzir sua pegada de carbono em uma fábrica de semicondutores, precisa começar com o controle do calor. Os sistemas de aquecimento tradicionais são simplesmente ineficientes. É como tentar aquecer um único prato de comida aquecendo toda a cozinha.
É por isso que usamos lâmpadas infravermelhas revestidas com ouro. Elas fornecem o calor necessário para o processamento dos wafers, sem desperdiçar metade da energia.
Por que o ouro?
Os tubos de quartzo convencionais funcionam, mas perdem energia para todos os lados. Para resolver isso, adicionamos uma fina camada de ouro na superfície dos tubos. Pense nisso como um espelho para o calor: em vez de permitir que a energia se disperse, o ouro a reflete de volta para o alvo desejado. Assim, obtém-se um feixe de calor mais concentrado, e a temperatura sobe quase instantaneamente.
O melhor é que o chassi da máquina não se torna um “forno”. Como o calor fica concentrado, os ventiladores de resfriamento não precisam trabalhar tão intensamente para evitar que o sistema derreta. Tudo funciona de maneira mais eficiente.
O truque dos “dois tubos”
Não usamos apenas um tubo; usamos dois. Isso duplica a área de superfície, sem ocupar mais espaço na instalação. Isso nos permite usar potências maiores, sem preocupações com o superaquecimento dos tubos. Em uma sala limpa, isso é muito importante, pois significa que o calor atinge uniformemente o wafer. Sem pontos frios ou surpresas.
Mas atenção: monitore seu fornecedor de energia. Quando se utiliza tanta energia, os cabos sofrem com isso. Se os terminais não forem adequados, haverá quedas de tensão, e a consistência do aquecimento será comprometida.
Tornando a fábrica mais sustentável
A grande vantagem é que, ao substituir os aquecedores resistentes tradicionais por esses sistemas infravermelhos, o tempo de aquecimento diminui de minutos para segundos. Isso representa uma grande economia de energia por wafer.
Projetamos esses sistemas para serem substitutos imediatos. Você não precisa desmontar suas máquinas ou gastar muito dinheiro em reformas. Basta trocar os componentes, concentrar a energia exatamente onde o wafer está, e parar de pagar por calor que não está sendo utilizado.