Eliminando o ozônio no processo de aquecimento de semicondutores
A fabricação de semicondutores exige que a temperatura seja controlada com precisão. Porém, por muito tempo, tivemos um problema irritante: os métodos tradicionais de aquecimento tendem a desperdiçar energia e gerar ozônio. Para resolver isso, as fábricas precisam utilizar sistemas complexos e consumidores de muita energia para manter o ar livre de substâncias tóxicas.
Encontramos uma solução melhor. Ao usar lâmpadas infravermelhas que evitam a faixa de comprimento de onda de 185 nm, conseguimos impedir que as moléculas de oxigênio se dividam. Em outras palavras: nenhum ozônio. Assim, resolvemos o problema na própria fonte, em vez de tentar limpar os efeitos negativos posteriormente.
Economizando energia (e sua sanidade mental)
Se você deseja alcançar os objetivos relacionados à produção “verde”, tudo depende da quantidade de quilowatts-hora consumidos por cada chip produzido.
Nosso sistema de IR utiliza calor radiante direto. Você não está desperdiçando energia aquecendo todo o ar dentro da câmara; você está aquecendo apenas o substrato. Isso é muito diferente dos antigos fornos de convecção, que desperdiçavam energia para aquecer todo o ambiente.
Além disso, essas lâmpadas atingem a temperatura desejada em segundos. Não há mais necessidade de esperar longos ciclos de aquecimento, enquanto o consumo de energia continua alto.
A realidade
Isso não é mágica. As lâmpadas de IR de alta intensidade geram muito calor concentrado. Se você quiser um aquecimento rápido, precisa garantir que os sistemas de resfriamento sejam capazes de lidar com isso. Caso contrário, o resto do equipamento pode superaquecer. Geralmente, recomendamos o uso de controladores PID para manter a temperatura sob controle.
Um ar mais puro nas salas limpas
A melhor parte é que, ao eliminar o ozônio, não é mais necessário acionar sistemas de ventilação intensos para remover gases tóxicos. Os sistemas de tratamento de ar podem finalmente descansar. Menos consumo de energia significa menos emissões de carbono.
Para os engenheiros, trata-se de uma solução simples: um processo mais eficiente, sem a necessidade de instalar sistemas químicos complexos. É realmente eficaz.