Eliminacja ozonu podczas procesu nagrzewania półprzewodników
W produkcji półprzewodników kluczowe jest precyzyjne kontrolowanie temperatury. Ale od dawna istniał jeden poważny problem: tradycyjne metody nagrzewania powodują straty energii oraz wytwarzanie ozonu. Aby temu zaradzić, fabryki muszą korzystać z skomplikowanych systemów oczyszczania powietrza, co jest kosztowne i wymaga dużo energii.
Znaleźliśmy lepsze rozwiązanie. Dzięki użyciu lamp infrarażowych, które unikają długości fali 185 nm, zapobiegamy rozpadaniu się cząsteczek tlenu. Innymi słowy – nie ma już ozonu. Problem jest eliminowany na źródle, zamiast próbować go później usunąć.
Oszczędność energii (i nerwów)
Jeśli chcesz osiągnąć cele związane z produkcją „zielonych” produktów, kluczowe jest ustalenie ilości kilowatogodzin zużywanych na produkcję jednego płytki półprzewodnikowej.
Nasze systemy oparte na lampach infrarażowych wykorzystują bezpośrednie ciepło promieniowane. Nie marnujesz energii na ogrzewanie całego powietrza w komorze – ciepło trafia bezpośrednio na substrat. To znacznie lepsze rozwiązanie niż stare piece konwekcyjne, które rozpraszają ciepło wszędzie dookoła.
Ponadto te lampy osiągają żądaną temperaturę w ciągu sekund. Nie musisz już czekać na długie cykle nagrzewania, podczas których licznik nadal pracuje.
Rzeczywistość
To nie jest żaden cud. Lampy o dużej intensywności emitują dużo ciepła. Jeśli chcesz szybko podnieść temperaturę, musisz upewnić się, że system chłodzenia jest w stanie to obsłużyć. W przeciwnym razie reszta elementów urządzenia może zostać przegrzana. Zwykle polecamy używanie kontrolerów PID, aby utrzymać temperaturę w odpowiednich granicach.
Świeże powietrze w pomieszczeniach czystych
Najlepsze efekty uzyskuje się w systemach klimatyzacji. Gdy przestajesz wytwarzać ozon, nie musisz intensywnie wentylować pomieszczenia, aby usunąć toksyczne gazy. Urządzenia do obróbki powietrza mogą w końcu odpocząć. Mniejsze zużycie energii oznacza mniejszy wpływ na środowisko.
Dla inżynierów jest to proste rozwiązanie – proces produkcji staje się bardziej efektywny, bez konieczności instalowania skomplikowanych urządzeń do oczyszczania powietrza. Po prostu to działa.