W fabryce termiczne fluktuacje podczas aktywacji domieszek, w trakcie procesów utwardzania fotorezystu, nie tylko wpływają na jakość produktu – one ją wręcz niszczą. Stworzyliśmy grzałkę podczerwieni do aktywacji domieszek, która utrzymuje temperaturę dokładnie tam, gdzie jest to konieczne, a nie tam, gdzie przypadkowo ustala się temperatura w komorze.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia Nasz emiter podczerwieni o krótkich falach nagrzewa szybko i skutecznie, przy jednoczesnej zachowaniu jednolitości temperatury na poziomie ±0,1°C. Dzięki temu profile aktywacji są stabilne, a warunki utwardzania fotorezystu pozostają niezmienne. Moduł kwarcowo-halogenu zapewnia precyzyjną kontrolę spektrum, więc można szybko osiągnąć zamierzony poziom temperatury, bez nadmiernego zużycia energii.
Kompatybilność z warunkami panującymi w pomieszczeniach klasy 1–100 jest wbudowana w konstrukcję urządzenia: materiały o niskiej ilości gazów wydzielanych podczas pracy, hermetyczne elementy konstrukcyjne oraz specjalna geometria ścieżki przepływu powietrza sprawiają, że liczba cząstek jest na niskim poziomie, co jest kluczowe w procesach litografii. Kluczowa jest również powtarzalność wyników – od jednej partii do drugiej.
Dlaczego to jest korzystne w fabryce W praktyce uzyskuje się efekt „miękkiego” utwardzania fotorezystu, przy którym rozpuszczalniki są usunięte bez uszkodzenia powierzchni krzemowej, a „twarde” utwardzanie polega na utwardzeniu materiału bez konieczności ponownego stopienia go lub powstawania niechcianych skorup. Aktywacja domieszek odbywa się w stałym tempie, dzięki czemu różnice w dyfuzji domieszek na powierzchni krzemowej są minimalne.
Mniej konieczności przeróbek. Lepsza kontrola rozmiarów elementów krzemowych. Czas cyklu można planować z dużą dokładnością. Zużycie energii jest niskie, ponieważ reakcja jest szybka, a straty w trybie czuwania są minimalne. Urządzenie może pracować 24/7 – bez problemów z nadmiernym nagrzewaniem lub zimnym startem.
To, co należy uwzględnić podczas instalacji Podczas instalacji konieczne jest dopasowanie grzałki do optycznej ścieżki i systemu chłodzenia w komorze. Konieczna jest również weryfikacja ustawienia reflektorów oraz przepływu chłodziwa podczas uruchamiania urządzenia.
Przed osiągnięciem pełnej jednolitości temperatury istnieje krótki okres stabilizacji. Należy planować regularną kalibrację, aby utrzymać poziom jednolitości na poziomie ±0,1°C przez cały czas eksploatacji urządzenia.