DNS (scherm) waferdrogerlamp

Tue, 02 Jun 2026 03:49:24 +0800

Out on the line, you know how it goes: een afwijking van een halve graad in de soft bake is al genoeg om de kritieke dimensionale controle buiten specificatie te brengen. Dat is precies de situatie waarvoor de DNS (Screen) wafer dryer lamp is ontwikkeld. Hij houdt de thermische uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C over de chuck, zodat je fotoresist bake-profielen stabiel blijven—shot na shot, lot na lot.

Wat er technisch onder de motorkap zit
De lamp gebruikt een kortegolf-infraroodbron in een kwartsomhulsel, afgestemd op de absorptie van de fotoresistlagen die we gebruiken. De respons is sub-seconde, en de temperatuurherhaalbaarheid blijft binnen 1°C over meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% vermogensafname. De module is ontworpen voor cleanroom klasse 1–100, met een partikels gecontroleerd pad en nul deeltjesgeneratie precies bij het verwarmingspunt. Het vermogen is gekalibreerd om een herhaalbaar thermisch budget te leveren en sluit naadloos aan op standaard Screen dryer platforms.

(Scherm) on Cozy Infrared Heating Solutions

DNS (scherm) waferdrogerlamp