Keramische eindkap voor IR zender

Sat, 06 Jun 2026 01:11:03 +0800

Op de litholaag geeft photoresist geen antwoord op intentie—het reageert op temperatuur. Laat je soft bake zelfs maar 1°C afwijken over de wafer, en die afwijking zie je terug als CD-variatie over de batch, wat ten koste gaat van je thermisch budget. De keramische eindkap op de IR-emitterassemblage voorkomt deze afwijking bij de bron.

Wat technisch van belang is
De keramische eindkap stabiliseert de emitterinterface—de plek waar warmte het filament verlaat en de proceskamer binnenkomt. We handhaven wafer-niveau thermische uniformiteit binnen ±0,1°C tijdens het bakken van photoresist, omdat die tolerantiespecificatie essentieel is voor het binnen de norm houden van lijnbreedtes over het hele veld. De materiaalkeuze is bewust: keramiek behoudt zijn dimensionale stabiliteit bij hoge temperatuur, is bestand tegen uitgassing en beperkt de deeltjesgeneratie tot bijna nul—schoon genoeg voor Class 1–100 cleanroomomgevingen. Het resultaat zijn herhaalbare bakprofielen, shift na shift.

Einde on Cozy Infrared Heating Solutions

Keramische eindkap voor IR zender