Infraroodverwarmer voor activering van dopanten

Sun, 28 Jun 2026 01:26:04 +0800

Op de productiefaciliteit hebben thermische schommelingen tijdens het activeren van dopanten, tijdens het ‘soft bake’ en ‘hard bake’ van de fotoresist gevolgen voor de kwaliteit van het product: ze zorgen er namelijk voor dat de productie niet meer mogelijk is. We hebben een infraroodverwarmer ontworpen die de gewenste temperatuur behoudt, zodat de processtappen op de juiste manier kunnen plaatsvinden.

Wat technisch gezien belangrijk is: Onze kortegolflange infraroodemitter verwarmt snel en effectief, met een uniformiteit op niveau van ±0,1°C. Dit zorgt voor een stabiel activatieproces en houdt de vereiste temperatuurniveaus voor het bewerken van de fotoresist constant. Het kwarts-halogeenmodule zorgt voor nauwkeurige controle over het spectrum, zodat de gewenste temperatuur snel kan worden bereikt, zonder dat dit invloed heeft op de energieverbruik.

Activatie on Cozy Infrared Heating Solutions

Infraroodverwarmer voor activering van dopanten