Stop met het omtoveren van je MEMS-hulpmiddelen tot ovens
Als je ooit een standaard convectieverwarmer hebt gebruikt voor het drogen van wafern, weet je wat voor uitdaging dat is. Je probeert de wafer te drogen, maar uiteindelijk wordt de hele kamer verhit. De binnenwanden van je dure apparaat nemen al die energie op, net zoals een spons.
Het resultaat? De buitenkant van de machine wordt gevaarlijk heet aanraakbaar en je stroomrekening schiet omhoog. Het is zonde.
We hebben een betere manier gevonden: gerichte infrarode (IR)-verwarming.
Hoe het werkt
Stel je het zo voor: convectieverwarming is alsof je probeert één persoon op te warmen door elke kubieke centimeter lucht in een ruimte op te warmen. Dat is inefficiënt.
IR-verwarming werkt anders. Het maakt gebruik van elektromagnetische golven om energie rechtstreeks naar het oppervlak van de wafer te sturen. We hoeven de lucht of de muren niet op te warmen. We brengen de warmte precies daar waar het water moet verdampen.
Het stalen frame van je apparaat blijft koel, omdat de energie precies waar nodig wordt gebruikt.
De details (en de valkuilen)
We gebruiken meestal kortegolflengte IR-emitters. Waarom? Omdat de materialen die worden gebruikt bij MEMS-droging deze golven beter kunnen opnemen. Bovendien kun je ze combineren met snel reagerende controllers, zodat je per ongeluk je wafern niet verbrandt.
Maar hier zit het probleem: IR-lampen zijn zeer krachtig. Als de alignering zelfs maar een paar millimeter incorrect is, krijg je problemen. Er kunnen hete plekken op de wafer ontstaan, of wordt een component verhit die eigenlijk niet verhit mag worden. Je moet dus goed letten op de reflectoren, zodat de straal precies goed gericht is.
Waarom dit het leven gemakkelijker maakt
Zodra je het probleem van de “ hete muren” hebt opgelost, voelt alles anders aan. Je medewerkers hoeven zich geen zorgen meer te maken over brandwonden wanneer ze bij het apparaat staan. Het HVAC-systeem hoeft ook niet harder te werken om de ruimte koel te houden, want het apparaat werkt niet tegen de omgeving in.
Het is sneller. Het neemt minder ruimte in beslag. En eerlijk gezegd maakt het het hele proces minder moeilijk.