Out on the line, anda tahu bagaimana keadaannya: pergeseran setengah darjah dalam soft bake sudah cukup untuk mengganggu kawalan dimensi kritikal sehingga keluar spesifikasi. Itulah realiti yang lampu pengering wafer DNS (Screen) dibina untuk menghadapinya. Ia mengekalkan keseragaman terma pada tahap wafer dalam lingkungan ±0.1°C merentasi chuck, supaya profil pembakaran photoresist anda kekal stabil—dari satu tembakan ke tembakan berikutnya, dari satu lot ke lot seterusnya.
Apa yang ada di bawah hud, secara teknikal
Lampu ini menggunakan sumber inframerah gelombang pendek di dalam pembungkus kuarza, yang ditala untuk serasi dengan penyerapan lapisan photoresist yang kami gunakan. Responsnya di bawah satu saat, dan kebolehulangan suhu kekal dalam 1°C lebih daripada 5,000 jam, dengan penurunan output kurang daripada 5%. Modul ini dibina untuk bilik bersih Kelas 1–100, dengan laluan terkawal partikel dan tiada penghasilan partikel terus di titik pemanasan. Output dikalibrasi untuk memberikan bajet terma yang boleh diulang, dan ia berinteraksi dengan baik dengan platform pengering Screen standard.
Mengapa ia penting dalam sokongan litografi
Dalam sokongan litografi, lampu ini menstabilkan kedua-dua soft bake dan hard bake, mengurangkan variasi lebar garis dan mengelakkan kerja semula. Kawalan kenaikan suhu mempercepatkan masa kitaran tanpa mengorbankan kualiti filem, dan penggunaan tenaga kekal rendah kerana pemanasan adalah cepat dan tertumpu. Ia direka untuk operasi 24/7 tanpa gangguan tidak dijangka, dan reka bentuknya mengurangkan perubahan alat guna habis—mengekalkan operasi fab yang berterusan.
Apa yang perlu diambil perhatian semasa pemasangan dan operasi
Pemasangan bergantung pada penjajaran tepat dengan optik pengering dan chuck, serta memastikan lampu beroperasi dalam julat voltan yang ditetapkan untuk mengekalkan keseragaman. Terdapat masa pemanasan singkat, dan pengesahan intensiti secara berkala diperlukan untuk mengekalkan spesifikasi keseragaman ±0.1°C. Padankan lampu dengan model pengering yang spesifik, supaya tingkap proses anda kekal pada tetapan asal.