http://ir-heater-cozy.com/ko/tags/%ED%99%9C%EC%84%B1%ED%99%94/ Recent content in 활성화 on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo ko Sun, 28 Jun 2026 01:26:04 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ko/posts/dopant-activation-infrared-heater/ Sun, 28 Jun 2026 01:26:04 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ko/posts/dopant-activation-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="도핑제 활성화용 적외선 히터"></p> <p>팹에서는 도핑제 활성화 과정, 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정에서 발생하는 온도 변동이 단순히 수율에 영향을 미치는 것이 아니라, 수율 자체를 완전히 망가뜨릴 수 있습니다. 저희는 도핑제 활성화를 위한 적외선 히터를 설계할 때, 공정이 실제로 필요로 하는 온도를 유지하도록 했습니다. 즉, 챔버 내부의 온도가 변동해도 그 영향을 받지 않도록 한 것입니다.</p>