중파 석영 히터 튜브

제조 현장에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 절차가 아닙니다. 이는 일종의 ‘열적 상호작용’입니다. 소프트 베이크와 하드 베이크 모두 반드시 정해진 온도 범위 내에서 이루어져야 합니다. 그렇지 않으면 리소그래피 공정에 문제가 생깁니다. 그 결과 생산 효율도...