http://ir-heater-cozy.com/ko/tags/%EC%97%B0%EA%B5%AC/ Recent content in 연구 on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo ko Wed, 24 Jun 2026 01:00:11 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ko/posts/lam-research-heater-replacement/ Wed, 24 Jun 2026 01:00:11 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ko/posts/lam-research-heater-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="램 리서치 히터 교체"></p> <p>팹 내에서 Lam Research 장비의 온도 변동은 단순한 사소한 문제가 아닙니다. 이는 CD 제어 시스템, 포토레지스트의 성능, 그리고 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 히터의 작동이 정상적이지 않으면, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서의 온도도 엉망이 되고, 웨이퍼 전체의 온도 균일성도 해치게 됩니다. 그래서 교체된 부품은 단순히 기존 부품을 대체하는 것이 아니라, 정확한 온도 조절 기능을 반드시 유지해야 합니다.</p>