http://ir-heater-cozy.com/ko/tags/%EB%85%B8%EC%B6%9C-%EB%85%B8%EC%B6%9C%EB%9F%89-%ED%8F%AD%EB%A1%9C/ Recent content in 노출; 노출량; 폭로 on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo ko Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="노광 후 베이크(PEB) 히터"></p> <p>리소그래피 작업장에서 라인폭 제어는 포스트 익스포저 베이크(PEB) 단계에서 결정된다. 온도가 단 몇 도만 변하거나 웨이퍼 전반에 걸쳐 균일하지 않으면 CD 편차와 불량이 발생한다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해 PEB 히터를 설계했다.</p>