http://ir-heater-cozy.com/ko/tags/%EA%B0%90%EC%82%AC/ Recent content in 감사 on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo ko Mon, 29 Jun 2026 02:45:00 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Mon, 29 Jun 2026 02:45:00 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="공장 건조 공정의 에너지 점검"></p> <p>웨이퍼가 최종 세척 과정을 거쳐 나오는 모습을 보면, 그 다음에 무슨 일이 일어날지 알 수 있습니다. 웨이퍼가 물에서 나오는 순간부터 시간 계수가 작동하기 시작합니다. 일반적인 건조 방식에서는 표면의 온도가 0.5°C만 차이나도 피부층에 스트레스를 주거나 포토레지스트에 결함을 유발할 수 있으며, 이물질이 달라붙는 문제도 생깁니다. 저희는 매번 동일한 사이클마다 전체 웨이퍼 표면의 온도가 ±0.1°C 내로 일정하도록 하는 초정밀 건조 시스템을 개발했습니다.</p>