http://ir-heater-cozy.com/ja/tags/peb/ Recent content in PEB on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo ja Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ポストエクスポージャーベイク PEB ヒーター"></p> <p>リソグラフィフロアでは、ライン幅制御はポストエクスポージャベーク（PEB）で<a href="https://goldisgood.com">成否</a>が決まる。わずか数度の温度ドリフトやウェーハ全体の温度不均一があれば、CDのばらつきやスクラップを招く。そこで当社は、PEBヒーターを変動要因から排除する設計とした。</p> <p><strong>内部で重要なポイント</strong><br> ベーク面全体で±0.1℃のウェーハレベルの温度均一性を実現し、フォトレジストの温度精度はプロセスが要求する厳しい熱予算内に収めている。設計には短波長赤外線素子を採用し、迅速かつクリーンなエネルギー伝達を可能にするため、立ち上がり速度は速く、オーバーシュートを抑制している。<br> Class 1–100クリーンルーム対応で、筐体および<a href="https://o-yate.net">内部治具</a>は粒子発生ゼロを目指して設計されており、サイクルごとの汚染量を抑制する。信頼性はシンプルな熱積層構造と安定した制御ループに基づき、現場実績として数万サイクルの運転でもドリフトを最小限に抑えている。</p>