http://ir-heater-cozy.com/ja/tags/%E7%9B%A3%E6%9F%BB/ Recent content in 監査 on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 02:44:59 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Mon, 29 Jun 2026 02:44:59 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="工場乾燥装置のエネルギー診断"></p> <p>ウェーハが最終洗浄工程から出てくるのを見ていれば、次に何が起こるかわかります。ウェーハが水から出た瞬間から、タイマーが動き始めます。従来の乾燥方法では、表面の温度が0.5℃でもずれると、ウェーハ表面に応力が生じたり、フォトレジストが流れたり、粒子が付着したりすることがあります。私たちが開発した超精密乾燥システムは、すべてのサイクルにおいて、ウェーハ全体で±0.1℃の均一性を保つという厳格な基準に基づいています。</p>