http://ir-heater-cozy.com/ja/tags/%E7%94%BB%E9%9D%A2/ Recent content in 画面 on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 03:49:24 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 03:49:24 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="DNS スクリーン ウェーハドライヤーランプ"></p> <p>ライン上ではよくあることだが、ソフトベークの温度が0.5度ずれるだけで、重要寸法管理が仕様外になる。まさにその現実に<a href="https://goldisgood.com">対応</a>するためにDNS（Screen）ウェーハドライヤーランプは設計されている。チャック全体でウェーハレベルの熱均一性を±0.1°C以内に維持し、フォトレジストのベークプロファイルをショットごと、ロットごとに安定させる。</p> <p><strong>技術的な内部構造</strong><br> このランプは、フォトレジスト積層の吸収特性に合わせて調整された石英封入の短波長赤外<a href="https://o-yate.net">線源</a>を使用している。応答速度は1秒未満で、5,000時間以上の運転において温度の再現性は1°C以内、出力低下は5％未満に抑えられている。モジュールはクリーンルームクラス1–100対応で、パーティクル制御された経路を持ち、加熱点でのパーティクル発生はゼロである。出力は繰り返し可能な熱負荷を供給するよう校正されており、標準的なScreenドライヤープラットフォームとクリーンにインターフェースする。</p>