http://ir-heater-cozy.com/ja/tags/%E6%B4%BB%E6%80%A7%E5%8C%96/ Recent content in 活性化 on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 01:26:04 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/dopant-activation-infrared-heater/ Sun, 28 Jun 2026 01:26:04 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/dopant-activation-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ドーパント活性化型赤外線ヒーター"></p> <p>ファブ内では、ドーパントの活性化処理やフォトレジストのソフトベイク、ハードベイクの過程で生じる温度変動は、単に歩留まりを低下させるだけでなく、歩留まりを完全に台無しにしてしまいます。私たちは、プロセスが実際に必要とする温度を維持するために、ドーパント活性化用の赤外線ヒーターを開発しました。つまり、チャンバーの温度が不安定になっても、その影響を受けないようにしているのです。</p>