http://ir-heater-cozy.com/ja/tags/%E3%83%89%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC/ Recent content in ドレイヤー on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo ja Thu, 16 Jul 2026 01:21:06 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/digital-infrared-dryer-controller/ Thu, 16 Jul 2026 01:21:06 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/digital-infrared-dryer-controller/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="デジタル赤外線乾燥機コントローラー"></p> <h1 id="電球の爆発という悪夢を防ぐには">電球の爆発という悪夢を防ぐには</h1> <p>高負荷の生産ラインにおいて、赤外線電球が爆発するというのは、単なる「技術的なトラブル」や少しの停止時間に過ぎません。それは完全な災害です。<br> 考えてみてください。石英管が破れると、ガラスの破片やハロゲンガスが直接ウェーハに降り注ぎます。一度爆発するだけで、そのロット全体が無駄になってしまいます。私たちも同じ経験をしたことがありますし、他の人がそういう状況に陥るのを見たこともあります。だからこそ、私たちはデジタルコントローラーや電球をこのような形で設計したのです。</p> http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 03:49:24 +0800 http://ir-heater-cozy.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="DNS スクリーン ウェーハドライヤーランプ"></p> <p>ライン上ではよくあることだが、ソフトベークの温度が0.5度ずれるだけで、重要寸法管理が仕様外になる。まさにその現実に<a href="https://goldisgood.com">対応</a>するためにDNS（Screen）ウェーハドライヤーランプは設計されている。チャック全体でウェーハレベルの熱均一性を±0.1°C以内に維持し、フォトレジストのベークプロファイルをショットごと、ロットごとに安定させる。</p> <p><strong>技術的な内部構造</strong><br> このランプは、フォトレジスト積層の吸収特性に合わせて調整された石英封入の短波長赤外<a href="https://o-yate.net">線源</a>を使用している。応答速度は1秒未満で、5,000時間以上の運転において温度の再現性は1°C以内、出力低下は5％未満に抑えられている。モジュールはクリーンルームクラス1–100対応で、パーティクル制御された経路を持ち、加熱点でのパーティクル発生はゼロである。出力は繰り返し可能な熱負荷を供給するよう校正されており、標準的なScreenドライヤープラットフォームとクリーンにインターフェースする。</p>