Riscaldatore infrarosso per attivazione dei dopanti

Sun, 28 Jun 2026 01:26:04 +0800

Nelle linee di produzione, le fluttuazioni termiche durante l’attivazione dei dopanti, nonché durante i processi di essiccazione del fotoresisto, non solo influiscono negativamente sulla qualità del prodotto, ma possono addirittura renderlo inutilizzabile. Abbiamo progettato il nostro riscaldatore a infrarossi per l’attivazione dei dopanti in modo che mantenga la temperatura esatta necessaria per il processo, e non quella che invece viene raggiunta casualmente all’interno della camera di produzione.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Il nostro emittore a infrarossi a onde corte riscalda rapidamente e in modo preciso, garantendo una uniformità della temperatura su tutta la superficie del wafer entro ±0,1°C. Questo permette di mantenere stabili i profili di attivazione dei dopanti e di assicurare una qualità costante durante i processi di essiccazione del fotoresisto. Il modulo a quarzo-alogeno garantisce un controllo spettrale preciso, permettendo così di raggiungere rapidamente la temperatura desiderata senza compromettere l’efficienza energetica.

Dopante on Cozy Infrared Heating Solutions

Riscaldatore infrarosso per attivazione dei dopanti