Elemento riscaldante di ricambio Axcelis

Sat, 27 Jun 2026 01:27:33 +0800

Sul piano di lavoro, 24 ore su 24, la fabbrica non può permettersi alcun problema termico. Se uno dei componenti riscaldanti inizia a funzionare male, le temperature necessarie per il trattamento termico dei wafer diventano irregolari. Le tolleranze richieste per la litografia vengono compromesse; i wafer vanno persi e i tempi di produzione vengono compromessi. Per evitare tutto ciò, utilizziamo i componenti di ricambio Axcelis per intervenire fin dalle origini del problema.

Quello che è importante dal punto di vista tecnico Questo componente è progettato per garantire un’omogeneità termica a livello dei wafer, mantenendo la temperatura entro ±0,1°C rispetto al valore impostato. La struttura in quarzo e la risposta ai raggi infrarossi a breve lunghezza d’onda permettono una regolazione rapida e precisa, con minimi scostamenti termici. È adatto all’uso in ambienti puliti di classe 1–100: non produce particelle e la sua superficie resiste ai detergenti aggressivi. La durata di vita è elevata: oltre 5.000 ore di funzionamento continuo, con uno scostamento termico inferiore al 5%.

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Elemento riscaldante di ricambio Axcelis