
Abbandonare l’uso dell’ozono nelle attività di riscaldamento nei semiconduttori
La produzione di semiconduttori richiede che la temperatura venga controllata con precisione. Però, per lungo tempo abbiamo avuto un problema: i metodi tradizionali di riscaldamento tendevano a perdere energia e a produrre ozono. Per risolvere questo problema, le fabbriche dovevano utilizzare sistemi di depurazione estremamente complessi e consumatori di energia, pur di mantenere l’aria pulita.
Abbiamo trovato un modo migliore: utilizzando lampade a infrarossi che evitano la lunghezza d’onda di 185 nm, possiamo impedire che le molecole di ossigeno si dividano. In parole povere: nessun ozono. Risolviamo il problema alle sue radici, invece di cercare di eliminarlo in seguito.
Risparmio di energia (e di nervi)
Se si vuole raggiungere gli obiettivi legati alla “fabbrica verde”, è fondamentale ridurre la quantità di kilowatt-orari necessari per produrre ogni singolo semiconduttore.
I nostri sistemi a infrarossi utilizzano calore radiante diretto: non si spreca energia per riscaldare tutto l’ambiente circostante, ma soltanto il substrato su cui avviene la produzione. Questo rappresenta un grande vantaggio rispetto ai vecchi forni a convezione, che dispersero calore ovunque. Inoltre, queste lampade raggiungono la temperatura desiderata in pochi secondi. Non c’è più bisogno di aspettare a lungo che i sistemi si riscaldino.
La realtà
Bisogna però ricordare che si tratta comunque di un sistema potente: le lampade a infrarossi producono molto calore concentrato. Se si vuole ottenere un riscaldamento rapido, è necessario assicurarsi che i sistemi di raffreddamento siano in grado di far fronte a tale carico. Altrimenti, il resto del sistema potrebbe surriscaldarsi. Di solito consigliamo di abbinare questi sistemi a controller PID, in modo da mantenere sotto controllo l’energia utilizzata e evitare che la temperatura esca dai limiti consentiti.
Un sollievo per le aree di lavorazione pulite
Il vantaggio più grande è rappresentato dal sistema di ventilazione: quando non viene più prodotto ozono, non è più necessario intensificare la ventilazione per eliminare i gas tossici. I sistemi di trattamento dell’aria possono finalmente riposarsi. Meno energia utilizzata significa anche una minore emissione di anidride carbonica.
Per gli ingegneri, è semplicemente un cambio efficace: si ottiene un processo di produzione più pulito, senza dover installare sistemi di depurazione chimica complessi. Funziona davvero.