Cercare di mantenere fresco l’interno di uno strumento per semiconduttori, mentre al contempo si aumenta la temperatura necessaria per il processo di produzione, è un vero incubo. La maggior parte dei riscaldatori standard dispersa il calore ovunque. È come mettere un riscaldatore elettrico in una scatola di cartone: alla fine, l’intero contenitore funziona come un grande radiatore. I componenti costosi vengono surriscaldati, e gli operatori devono stare attenti a non ustionarsi.
Abbiamo trovato un modo migliore: il riscaldamento a raggi infrarossi direzionali. Invece di lasciare che il calore si disperda casualmente, utilizziamo lampade a onde corte a raggi infrarossi. Queste lampade concentrano l’energia esattamente dove è necessaria, cioè direttamente sul wafer o sul substrato su cui avviene la lavorazione.
In questo modo si evita quel fastidioso surriscaldamento delle pareti dell’equipaggiamento. Si ottiene quindi l’energia termica necessaria nel punto giusto, mentre il resto dell’equipaggiamento rimane fresco. Non c’è più rischio di danneggiare i componenti dell’macchina a causa del calore eccessivo.
Tuttavia, non basta semplicemente utilizzare qualsiasi tipo di cavo. Se si utilizza il normale PVC, quest’ultimo si romperà o si scioglierà entro poche settimane. Non è adatto per questi scopi. Ecco perché preferiamo utilizzare cavi rivestiti in Teflon (PTFE). Questi cavi resistono ai picchi di temperatura elevata e non subiscono danni nemmeno quando ci sono sostanze chimiche presenti nell’ambiente. Anche sotto l’effetto dei raggi infrarossi, rimangono flessibili e svolgono correttamente la loro funzione.
Tuttavia, bisogna comunque prestare attenzione alla disposizione dei cavi. Anche il Teflon ha i suoi limiti. Se un cavo tocca accidentalmente il rivestimento di quarzo della lampada mentre questa è in funzione, tutto va a rotoli. Bisogna quindi progettare la disposizione dei cavi in modo che nulla si trovi direttamente sulla traiettoria dei raggi infrarossi.
Quando la protezione e i riflettori vengono impostati correttamente, il calore va esattamente dove vogliamo che vada. Così, il sistema di climatizzazione dell’impianto può finalmente riposarsi, e non dobbiamo più affrontare quel problema dei “muri caldi” che rende così difficile la gestione di molti strumenti per semiconduttori.