Penggantian pemanas Lam Research

Wed, 24 Jun 2026 01:00:11 +0800

Di fasilitas produksi, fluktuasi suhu di dalam chamber Lam Research bukanlah masalah kecil. Hal ini berdampak langsung pada proses kontrol CD, profil fotoresist, serta tingkat keberhasilan proses pembuatan chip. Ketika pemanas mulai mengalami fluktuasi, suhu yang digunakan untuk proses “soft bake” dan “hard bake” pun ikut berubah, sehingga keseimbangan termal di seluruh permukaan wafer terganggu. Itulah sebabnya penggantian komponen pemanas perlu dilakukan dengan cara yang tepat, agar perilaku termalnya tetap stabil.

Yang penting secara teknis
Kami merancang komponen pemanas pengganti untuk Lam Research sedemikian rupa sehingga dapat menjaga keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer hingga ±0,1°C selama seluruh proses berlangsung. Dengan demikian, kualitas proses pembakaran fotoresist tetap konsisten. Anda dapat memilih jenis elemen pemanas yang sesuai—halogen, gelombang pendek, gelombang menengah, atau NIR—untuk mencocokkan respons termal chamber tersebut. Hal ini membantu menghindari adanya fluktuasi suhu dan titik-titik dingin di permukaan wafer. Komponen ini dibuat dari kuarsa berkualitas tinggi, serta menggunakan seal yang efektif agar tetap berada dalam kondisi lingkungan bersih kelas 1–100. Tidak ada partikel yang dihasilkan, sebagaimana yang dapat dipastikan melalui pemantauan partikel secara langsung. Antarmuka listriknya juga disesuaikan dengan tegangan, densitas daya, dan jenis konektor yang tepat, sehingga komponen ini dapat berfungsi secara optimal bersama dengan sistem kontrol peralatan asli.

Penelitian on Cozy Infrared Heating Solutions

Penggantian pemanas Lam Research