Di lantai litho, photoresist tidak memperhatikan niat—ia merespons suhu. Biarkan soft bake bergeser bahkan 1°C di seluruh wafer, dan Anda akan...

Di lantai pabrik, drift termal selama pengeringan photoresist atau pengeringan wafer bukan hanya pembunuh throughput. Ini menggeser dimensi kritis...