Mengapa Kita Perlu Mengecek Kualitas Isolasi Pada Sensor Wafer
Alat-alat yang digunakan dalam proses pembuatan wafer sangatlah ekstrem. Dengan suhu yang sangat tinggi dan toleransi listrik yang sangat ketat, tidak ada ruang untuk kesalahan sedikit pun.
Bayangkan saja: jika ada kebocoran isolasi di sensor suhu atau pemanas, maka kontroler akan rusak, atau sekelompok wafer silikon akan hancur. Itu merupakan mimpi buruk yang tidak ingin dialami siapa pun.
Itulah mengapa kita tidak menggunakan metode pengambilan sampel secara acak. Setiap unit yang keluar dari pabrik kita harus menjalani tes tegangan tahanan (Hipot) dan tes resistansi isolasi sebesar 100%. Tidak ada pengecualian.
Menguji Batas-Batas Kemampuan Isolator
Cara kerjanya adalah dengan memberikan tegangan yang jauh lebih tinggi daripada yang diterima sensor saat beroperasi normal. Tujuannya adalah untuk mencari tahu di mana titik kegagalan isolator tersebut. Jika ada lubang kecil atau titik lemah pada lapisan dielektrik, arus listrik akan langsung melewatinya.
Jika sensor rusak selama proses pengujian? Itu merupakan hal yang positif. Artinya, kita berhasil mendeteksi kegagalan tersebut sebelum sensor digunakan pada alat yang bernilai jutaan dolar.
Mengapa “Cukup Baik” Tidak Cukup
Dalam industri ini, tingkat kegagalan sebesar 1% sudah merupakan bencana. Satu sensor yang rusak saja bisa merusak seluruh produksi wafer.
Kita mengukur resistansi isolasi dalam satuan Megaohm untuk memastikan bahwa bagian konduktif sensor benar-benar terisolasi dari lapisan luarnya. Jika isolasi tersebut tidak sempurna, maka akan muncul arus parasit. Arus tersebut akan mengganggu hasil pengukuran PID, sehingga data yang didapatkan menjadi tidak akurat.
Kompromi yang Harus Diterima
Tentu saja, sikap ketat ini memiliki biayanya sendiri. Pengujian yang ketat membutuhkan waktu, sehingga bisa memperlambat proses produksi.
Dan sejujurnya, alat-alat ini sangat menuntut kualitas komponennya. Bahkan isolasi terbaik sekalipun bisa menurun kualitasnya setelah ribuan jam beroperasi dalam kondisi suhu yang ekstrem. Tes yang kita lakukan dapat menjamin bahwa sensor berfungsi dengan baik sejak hari pertama, tetapi Anda tetap perlu memantau tingkat kebocoran arus seiring bertambahnya usia alat tersebut.
Kami membangun sensor-sensor ini agar mampu bertahan dalam kondisi suhu yang ekstrem. Dengan memverifikasi kualitas isolasi setiap komponen, kita dapat menghindari risiko kegagalan. Anda hanya perlu menyambungkannya ke alat dan mulai menggunakan sensor tersebut.