http://ir-heater-cozy.com/he/tags/heater-%F0%90%A4%87%F0%90%A4%8E/ Recent content in Heater 𐤇𐤘𐤎 on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo he Mon, 08 Jun 2026 02:38:56 +0800 http://ir-heater-cozy.com/he/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Mon, 08 Jun 2026 02:38:56 +0800 http://ir-heater-cozy.com/he/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="מְחַמֵּם אינפרא אדום בחדר ריק"></p> <p>בקו הייצור, סטיית טמפרטורה של 0.5°C בזמן אפיית הפוטורזיסט מספיקה כדי להוריד את יעדי הממד הקריטי (CD) ולהתחיל בפגיעה בתשואה. מחממי אינפרא אדום בתא ואקום נועדו להסיר את השונות הזו באפיית רכה ואפיית קשה — שלבים שבהם תקציב החום הוא פשוט בלתי-משא ומתן.</p> <p><strong>מה שחשוב מתחת לפני השטח</strong><br> אינפרא אדום בגל קצר פוגע במהירות בפני המזרון ובמשטחי התא, מעביר חום ישירות וקוטע את ההשהייה התרמית. המטרה היא אחידות ברמת המזרון של ±0.1°C בחלון התהליך, וחזרתיות נקודת ההגדרה נשמרת מחבילה לחבילה. גוף המחמם בנוי לשימוש בחדר נקי Class 1–100, מחומרים עם פליטה נמוכה וגימור שממזער היווצרות חלקיקים ככל שניתן. בוакуום, הטמפרטורה נשמרת יציבה גם כאשר הלחץ והרכב הגז משתנים — כך ששלבי הליתוגרפיה והחיתוך מקבלים היסטוריה תרמית עקבית.</p>