מחמם אפייה לאחר חשיפה (PEB)

בקומת הליתוגרפיה, השליטה ברוחב הקו מתבצעת או אובדת בתהליך האפייה שלאחר החשיפה (PEB). סטייה של כמה מעלות בלבד בטמפרטורה, או חוסר אחידות על פני הצלחת,...