http://ir-heater-cozy.com/he/tags/%D7%97%D7%A6%D7%90%D7%99-%D7%9E%D7%95%D7%9C%D7%99%D7%9A/ Recent content in חצאי מוליך on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo he Fri, 26 Jun 2026 01:24:40 +0800 http://ir-heater-cozy.com/he/posts/semiconductor-infrared-heating-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 01:24:40 +0800 http://ir-heater-cozy.com/he/posts/semiconductor-infrared-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="נורת חימום באינפרא אדום מבוססת חצי מוליכים"></p> <p>בחדר הייצור, שינוי של 1°C בטמפרטורה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו רק “נקודה קטנה” על המסך – הוא מתבטא בשינויים בעובי הקווים, בסטיות בתהליך החריטה, ובהרס של הוואפרים. פיתחנו נורות חימום באור אינפרא-אדום שמסייעות להפחית את השינויים האלו.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית</strong><br> אנו משתמשים בגופי פליטה באור אינפרא-אדום בגלים קצרים, שמעבירים חום ישירות לוואפר ולתשתית שלו, באמצעות העברה מהירה וישירה של החום. כך ניתן להשיג תגובה בתוך שניות בודדות, ואחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C על כל שטח הוואפר. רמת דיוק כזו מאפשרת שליטה טובה יותר בממדים הקריטיים בתהליך הליתוגרפיה, וכן תוצאות עקביות לאחר תהליך החריטה.</p> http://ir-heater-cozy.com/he/posts/semiconductor-processing-heater-element/ Fri, 19 Jun 2026 02:14:20 +0800 http://ir-heater-cozy.com/he/posts/semiconductor-processing-heater-element/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="רכיב חימום לעיבוד שבבים"></p> <p>בחדר הייצור, טמפרטורה של 95°C במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט אינה עניין של בחירה – זו דרישה הכרחית. אם תפספסו את הטמפרטורה הזו בחצי מעלה, שליטה ברוחב הקווים תיפגע. כתוצאה מכך, גם רמת האיכות של המוצר תיפגע. לכן, יש צורך שרכיב החימום במכשירי האפייה יספק חום אחיד, שוב ושוב, ללא חריגות.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> אנו מייצרים רכיבי חימום לעיבוד שבבים, שנועדו לאפשר שליטה תרמית מדויקת. בהתאם לסוג התא, אנו משתמשים בגופי פלזמה בגלים קצרים או ברכיבי חימום מחוזקים בסיבי פחמן, בהתאם לגאומטריה ולפרופיל האנרגיה של המכשיר. עבור שבב בגודל 300 ממ, ניתן להשיג אחידות של ±0.1°C, קצבי חימום מהירים, וערכי טמפרטורה יציבים לאורך זמן. הרכיבים האלו מתאימים לחדרי ייצור מסוג Class 1–100, עם אפס ייצור של חלקיקים, פליטה נמוכה של גזים, וחומרים עמידים בפני קורוזיה. האחידות של רכיבי החימום נמדדת בפועל, ולא רק בתיאוריה – יש יציבות מתמשכת תחת עומס, עם נתונים מדויקים לגבי השינויים התרמיים ומשך החיים של הרכיבים.</p>