http://ir-heater-cozy.com/fr/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo fr Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/fr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/fr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Chauffage post exposition (PEB)"></p> <p>Sur la ligne de <a href="https://o-yate.com">lithographie</a>, le contrôle de la largeur de trait se gagne ou se perd lors du post-exposure bake. Un décalage de température de seulement quelques degrés, ou une non-uniformité sur la surface du wafer, conduit à des déviations de CD et du rebut. Nous avons conçu nos chauffages PEB pour éliminer cette variabilité.</p> <p><strong>Ce qui compte sous le capot</strong><br> Nous parlons d’une uniformité de température au niveau du wafer de ±0,1 °C sur la surface de cuisson, et d’une précision de température du photoresist qui reste dans le budget thermique strict exigé par votre process. Le design utilise des éléments infrarouges à ondes courtes pour un transfert d’énergie rapide et propre, permettant des rampes de chauffage rapides sans dépassement.</p>