Élément chauffant de rechange Axcelis

Sat, 27 Jun 2026 01:27:33 +0800

Sur le sol, 24 heures sur 24, 7 jours sur 7, l’usine ne peut pas supporter la moindre anomalie thermique. Dès qu’un élément chauffant commence à défaillir, les températures nécessaires pour le traitement des wafers deviennent irrégulières. Les tolérances de lithographie s’effondrent, les wafers sont perdus, et le calendrier de production est perturbé. Nous utilisons donc des éléments chauffants de remplacement Axcelis afin d’éviter cette série d’incidents dès leur origine.

Ce qui est important du point de vue technique Cet élément chauffant est conçu pour assurer une uniformité thermique au niveau des wafers, en maintenant la température de cuisson dans une fourchette de ±0,1 °C par rapport à la valeur cible. Sa structure en quartz et sa réponse aux ondes infrarouges à courte longueur d’onde permettent une augmentation rapide et répétable de la température, avec un écart minimal – ce dont on a besoin pour maintenir un contrôle précis de la température lors du traitement des photorésists avancés. Il est compatible avec des salles propres de classe 1–100, ne produit aucune particule, et sa surface résiste aux nettoyages agressifs avec des solvants. On peut s’attendre à une durée de vie prolongée : plus de 5 000 heures de fonctionnement normal, avec un écart de température inférieur à 5%.

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Élément chauffant de rechange Axcelis