Éliminer l’ozono dans les systèmes de chauffage utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs
La fabrication de semi-conducteurs exige une maîtrise précise de la température. Mais pendant longtemps, nous avons eu un problème ennuyeux : les méthodes de chauffage traditionnelles entraînaient des fuites d’énergie et la production d’ozone. Pour y remédier, les usines devaient utiliser des systèmes de purification très coûteux pour garantir que l’air reste propre.
Nous avons trouvé une solution meilleure. En utilisant des lampes infrarouges qui évitent la longueur d’onde de 185 nm, nous empêchons les molécules d’oxygène de se séparer. En termes simples : pas d’ozone. Nous éliminons le problème à la source, plutôt que de tenter de le corriger plus tard.
Économiser de l’énergie… et votre tranquillité d’esprit
Si vous cherchez à atteindre les objectifs liés aux usines durables, tout dépend du nombre de kilowattheures consommés par wafer.
Nos systèmes à infrarouges utilisent de la chaleur rayonnante directe. Vous ne gaspillez donc pas d’énergie en chauffant tout l’air présent dans la chambre ; vous ciblez uniquement le substrat. C’est complètement différent des anciens fours à convection, qui dispersent la chaleur partout. De plus, ces lampes atteignent la température souhaitée en quelques secondes. Plus besoin d’attendre longtemps que le système se réchauffe.
La réalité
Ce n’est pas une solution magique. Les lampes à infrarouges haute intensité produisent beaucoup de chaleur concentrée. Si vous souhaitez un chauffage ultra-rapide, vous devez vous assurer que vos systèmes de refroidissement peuvent gérer cette charge. Sinon, le reste du châssis de l’équipement risque de surchauffer. Nous recommandons généralement d’utiliser des contrôleurs PID pour maintenir la température sous contrôle.
Un souffle d’air frais dans la salle propre
Le meilleur aspect de cette solution, c’est l’impact positif sur le système de ventilation. Lorsque l’ozone est éliminé, il n’est plus nécessaire d’aérer intensément pour éliminer les gaz toxiques. Les unités de traitement de l’air peuvent enfin se reposer. Moins de consommation d’énergie signifie également une empreinte carbone réduite.
Pour les ingénieurs sur le terrain, c’est une solution simple : on obtient un processus de fabrication plus propre, sans avoir besoin d’installer des systèmes de purification chimique complexes. Cela fonctionne simplement.