Essayer de maintenir l’intérieur d’un outil de semiconducteurs à une température basse, tout en augmentant la chaleur générée par le processus de fabrication, c’est un véritable cauchemar. La plupart des chauffages standard diffusent simplement la chaleur partout. C’est comme placer un radiateur électrique dans une boîte en carton : au bout d’un moment, tout le châssis devient comme un grand radiateur. Vos équipements coûteux surchauffent, et vos opérateurs doivent s’inquiéter de risquer des brûlures.
Nous avons trouvé une solution meilleure : le chauffage infrarouge directionnel. Au lieu de laisser la chaleur se disperser aléatoirement, nous utilisons des lampes à ondes courtes infrarouges. Elles dirigent l’énergie exactement là où elle est nécessaire, c’est-à-dire directement sur la puce ou le substrat. Ainsi, on évite ce problème désagréable de surchauffe des murs du système. On obtient ainsi l’énergie thermique nécessaire au niveau du point focal, tandis que le reste de l’équipement reste frais. Plus de risque de brûler les composants de la machine.
Mais on ne peut pas simplement utiliser n’importe quel fil électrique. Si l’on utilise du PVC standard, il se fissurera ou fondra en quelques semaines. Ce matériau n’est tout simplement pas conçu pour cela. C’est pourquoi nous utilisons des fils recouverts de Téflon (PTFE). Ce matériel résiste aux pics de température élevés et ne se dégrade pas même en présence de produits chimiques. Même sous l’effet des rayonnements infrarouges, il reste flexible et continue de fonctionner correctement.
Cela dit, il faut quand même être prudent dans la disposition des fils. Même le Téflon a ses limites. Si un fil touche accidentellement l’enveloppe en quartz de la lampe pendant son fonctionnement, c’est la fin. Il faut donc planifier soigneusement l’installation des fils, afin qu’aucun d’eux ne se trouve directement dans la trajectoire des rayonnements.
Lorsque l’isolation et les réflecteurs sont bien ajustés, la chaleur va exactement là où on le souhaite. Le système de climatisation de votre usine peut enfin se reposer, et vous n’aurez plus à faire face à ces murs trop chauds qui rendent difficile la gestion de nombreux équipements.