http://ir-heater-cozy.com/fa/tags/exposure/ Recent content in Exposure on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo fa Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/fa/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/fa/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="هیتر پخت پس از تابش (PEB)"></p> <p>در سالن لیتوگرافی، کنترل عرض خطوط در مرحله پخت پس از تابش (PEB) تعیین‌کننده موفقیت یا شکست است. انحراف دمایی تنها چند درجه یا عدم یکنواختی دما در سطح ویفر، باعث نوسانات CD و ضایعات می‌شود. ما گرم‌کن‌های PEB خود را طوری ساخته‌ایم که این تغییرات را از معادله حذف کنند.</p> <p><strong>آنچه در زیر کاپوت اهمیت دارد</strong><br> ما در مورد یکنواختی دمایی سطح پخت در سطح ویفر با دقت ±0.1°C صحبت می‌کنیم و دقت دمای رزین نوری که در محدوده دقیق بودجه حرارتی موردنیاز فرآیند شما باقی می‌ماند. طراحی از المنت‌های مادون قرمز کوتاه‌موج برای انتقال سریع و پاک انرژی استفاده می‌کند، بنابراین نرخ‌های افزایش دما سریع هستند بدون اینکه دما بیش از حد بالا برود.</p>