http://ir-heater-cozy.com/fa/tags/chamber/ Recent content in Chamber on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo fa Mon, 08 Jun 2026 02:38:55 +0800 http://ir-heater-cozy.com/fa/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Mon, 08 Jun 2026 02:38:55 +0800 http://ir-heater-cozy.com/fa/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="گرمکن مادون قرمز محفظه خلأ"></p> <p>در محیط تولید، تغییر 0.5°C در دمای پخت فوتورزیست کافی است تا اهداف ابعاد بحرانی (CD) را جابجا کرده و شروع به کاهش بهره‌وری کند. گرم‌کن‌های مادون قرمز در محفظه خلأ برای حذف این تغییرات در مراحل نرم‌پخت و سخت‌پخت تعبیه شده‌اند؛ مراحلی که بودجه حرارتی در آنها کاملاً غیرقابل مذاکره است.</p> <p><strong>آنچه در دل سیستم اهمیت دارد</strong> مادون قرمز موج کوتاه سریعاً به سطح ویفر و محفظه می‌رسد، حرارت را به‌طور مستقیم منتقل کرده و تاخیر حرارتی را کاهش می‌دهد. ما به دنبال یکنواختی دمایی در سطح ویفر با دقت ±0.1°C در بازه فرایندی هستیم و تکرارپذیری نقطه تنظیم دما از یک دسته به دسته دیگر حفظ می‌شود. بدنه گرم‌کن برای استفاده در اتاق‌های تمیز کلاس 1–100 ساخته شده است، با مواد کم‌دمش و سطحی که تولید ذرات را تا حد ممکن به صفر می‌رساند. در خلأ، دما حتی با تغییر فشار و ترکیب گاز پایدار باقی می‌ماند؛ بنابراین فرآیندهای لیتوگرافی و حکاکی، تاریخچه دمایی ثابتی را تجربه می‌کنند.</p>