حذف ازن در فرآیندهای گرمایشی نیمههادیها
تولید نیمههادیها نیازمند کنترل دقیق دما است. اما مدتهاست که با مشکلاتی روبرو بودهایم: روشهای گرمایشی سنتی، انرژی زیادی را هدر میدهند و همچنین ازن تولید میکنند. برای حل این مشکل، کارخانهها مجبورند از سیستمهای پاکسازی قدرتمندی استفاده کنند تا هوا را در حالت ایمن نگه دارند.
ما راه بهتری پیدا کردیم. با استفاده از لامپهای مادون قرمز، میتوانیم از تجزیه مولکولهای اکسیژن جلوگیری کنیم. به عبارت ساده، دیگر ازن تولید نمیشود. ما مشکل را از ریشه خنثی میکنیم، به جای اینکه سعی کنیم آن را بعداً تمیز کنیم.
صرفهجویی در مصرف انرژی
اگر قصد دارید به اهداف «کارخانه سبز» دست یابید، همه چیز به میزان کیلوواتساعت انرژی مورد نیاز برای تولید هر ویفر بستگی دارد.
سیستمهای مادون قرمز ما از حرارت مستقیم برای گرم کردن سطح سندباد استفاده میکنند؛ بنابراین انرژی بیشتری هدر نمیرود. این روش، بسیار بهتر از فرهای معمولی است که حرارت را در سراسر اتاق پخش میکنند.
علاوه بر این، این لامپها در عرض چند ثانیه به دمای مورد نیاز میرسند؛ دیگر نیازی نیست منتظر چرخههای گرمایش طولانی باشیم.
واقعیت
البته، این روش جادویی نیست؛ لامپهای مادون قرمز حرارت زیادی تولید میکنند. اگر میخواهید سیستمی با سرعت بالا برای گرم کردن داشته باشید، باید مطمئن شوید که سیستمهای خنککننده شما قادر به مقابله با این حرارت باشند. در غیر این صورت، سایر بخشهای دستگاه دچار گرمای بیش از حد خواهند شد. ما معمولاً توصیه میکنیم که این سیستمها را با کنترلرهای PID همراه کنید؛ این کار باعث کنترل بهتر میزان انرژی و جلوگیری از افزایش بیش از حد دما میشود.
تغییر مثبت در فضای تمیز
بهترین نتیجه، در سیستمهای تهویه هوا به دست میآید. وقتی که تولید ازن متوقف میشود، دیگر نیازی نیست برای پاکسازی گازهای سمی از سیستم تهویه استفاده کنیم. دستگاههای تهویه هوا نیز میتوانند استراحت کنند. کاهش مصرف انرژی، منجر به کاهش کربن مورد استفاده نیز میشود.
برای مهندسان، این روش بسیار ساده است؛ فرآیند تولید تمیزتر میشود، بدون نیاز به استفاده از سیستمهای پیچیده برای پاکسازی. این روش واقعاً کارآمد است.