Recambio de elemento calefactor Axcelis

Sat, 27 Jun 2026 01:27:33 +0800

En el suelo, las 24 horas del día, la planta no puede permitirse ningún tipo de problema térmico. Si uno de los elementos calefactores deja de funcionar correctamente, las temperaturas necesarias para el proceso de cocción se desvían de los valores establecidos. Las tolerancias de litografía se ven afectadas, y las obleas terminan siendo descartadas. El cronograma de producción se ve alterado. Para evitar todo esto, utilizamos elementos calefactores de repuesto de Axcelis.

Lo que es importante desde el punto de vista técnico
Este elemento está diseñado para garantizar una uniformidad térmica a nivel de oblea, manteniendo la temperatura dentro de un rango de ±0.1°C con respecto al valor establecido. La estructura de cuarzo y su capacidad de respuesta en el rango de infrarrojo corto permiten una regulación rápida y precisa de la temperatura, sin sobrecalentamiento. Esto es esencial para mantener un control preciso de la temperatura en los procesos de litografía avanzada. Está diseñado para funcionar en entornos limpios de clase 1–100; no genera partículas y su superficie resiste bien los procesos de limpieza con solventes agresivos. Se espera que tenga una vida útil de más de 5,000 horas, con una desviación en la salida inferior al 5%.

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